PR-LPS/LPD/LPS2 线性传感器位置调节器 (Linear sensor positioner)
依照控制系统的信号控制载物台 (Stage)。
使用1个LPS发动机让1个载物台运作。
使用2个LPD发动机让2个载物台同时运作。
使用2个LPS发动机让2个载物台各自运作。在载物台上可连接传感器 。